文章摘要:金属玻璃，又称非晶态合金，是一种新型高性能金属材料，其因具有长程无序、短程有序的独特组织结构特征而拥有超常的综合性能，兼具金属、非晶、固体和液体特性，是制造微纳器件的理想材料之一，广泛应用于航空航天、国防、医疗等领域。然而，金属玻璃大都低温时硬脆、中/高温时粘稠，且表面极易自钝化成膜，极易因热作用而晶化/氧化变性，其成形与加工都面临巨大挑战。本文按等材、减材和增材成形类别对现有金属玻璃微制造技术进行了综述，介绍它们的制造原理、工艺特点、技术优势和发展现状，分析了它们的不足与发展趋势，并指出了金属玻璃微纳制造领域的未来发展方向与研究重点。本文为金属玻璃微小零件制备方法的选择提供了背景知识与参考价值。

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